ASML: de Twinscan NXT 1950i, de kolibrie onder de wafersteppers

Voor chipfabrikanten kan de productie niet snel genoeg gaan. Toptechnologiebedrijf ASML speelt op deze behoefte in door het ontwikkelen van steeds efficiëntere lithografiesystemen. De Twinscan NXT 1950i is het nieuwste icoon op dit gebied.

Het apparaat versnelt de productie van chips aanzienlijk: het zorgt ervoor dat circuits kleiner kunnen worden afgebeeld, waardoor fabrikanten meer marge uit hun chips kunnen halen. De waferstage beweegt op hoge snelheid, in meerdere richtingen. De wisseltijd is minimaal. In plaats van luchtlagering maakt het nieuwe systeem gebruik van een zwevend magneettapijt. Hierbij zweeft een platform met spoelen op een bed van vaste magneten. Terwijl de Twinscan de ene halfgeleiderplak belicht, brengt het systeem de topologie van de andere plak in kaart. Is de belichting klaar, dan wisselen de stages in een vloeiende beweging. Onderhoud vindt automatisch plaats tijdens ‘system idle time’.

De waferstepper is opvallend snel, accuraat en stabiel. De versnelling is mogelijk door een forse gewichtsreductie: de NXT-stage is gemaakt van koolstofvezels en keramische materialen. Door zijn gewicht en snelheid wordt de Twinscan NXT 1950i wel ‘de kolibrie onder de wafersteppers’ genoemd.